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 　　三甲基氯硅烷无色透明液体。有挥发性，在潮湿空气中易水解而成游离盐酸。这是由于硅-卤键的特殊活泼性，由三甲基氯硅烷出发，可以合成一系列含硅-官能团结构的有机硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。因此，常常密封于阴凉干燥处保存。因为受热或遇水分解放热，会放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。因此要谨慎使用。